1.無機械軸封,可耐磨耗、耐空轉。 2.不需外部冷卻水、不需填函墊料等消耗品。 3.接液部使用耐磨耗塑膠,使用壽命長。 4.採用線性軸封原理。 5.最適合CMP研磨液循環移送。 6.最適合氧化鈰研磨液循環移送。 7.省電、降低運轉成本。